产品特征:

最大行程4m x 4m
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm

产品应用:

半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割设备
AOI检测设备
工具机